Gli elettroni che si muovono ad alta velocità sotto un campo elettrico bombardano la superficie di un oggetto e lo riscaldano. Il componente principale per il riscaldamento del fascio di elettroni è il generatore di fascio di elettroni, noto anche come cannone elettronico. Il cannone elettronico è composto principalmente da catodo, elettrodo a fascio, anodo, lente elettromagnetica e bobina di deflessione. L'anodo è collegato a terra, il catodo è collegato alla posizione alta negativa, il raggio di focalizzazione è solitamente allo stesso potenziale del catodo e si forma un campo elettrico accelerato tra il catodo e l'anodo. Gli elettroni emessi dal catodo vengono accelerati ad una velocità molto elevata sotto l'azione di un campo elettrico accelerato, focalizzato da una lente elettromagnetica, e quindi controllati da una bobina di deflessione per far sparare il fascio di elettroni verso l'oggetto riscaldato in una certa direzione.
I vantaggi del riscaldamento del fascio di elettroni sono: (1) controllare il valore attuale del fascio di elettroni Ie, che può cambiare facilmente e rapidamente la potenza di riscaldamento; (2) La lente elettromagnetica può essere utilizzata per cambiare liberamente la parte riscaldata o l'area della parte di bombardamento del fascio di elettroni può essere regolata liberamente; (3) La densità di potenza può essere aumentata in modo che il materiale nel punto bombardato evapori istantaneamente.
